第101节
换句话说，光刻机所需的反射镜精度必须打磨到万亿分之一米。 盛明安：“用硅和钼反复镀膜，直到光线利用率达到国际标准。” 当下有?人反驳：“都是?纳米级镀膜，反复镀膜也会影响精度，工艺太难了?！” 难度多大？ 最浅显易懂的比喻便是?将一面直径不?超过四十厘米的反射镜放大至覆盖地面，其平面起伏不?能超过一根头发的直径。 而光刻机所需的反射镜多达四五十层，平面精度一层比一层要求更平整。 全球只有?德国蔡司这家传承三?代?以上的企业才造得出这种反射镜。 当然，反射镜不?对华出口。 盛明安：“不?用担忧反射镜能不?能被打磨出来，你们只需要尽己所能考虑反射镜在光的收集和转化率这一单元里，能够被如何利用到极致。” “数据、模型，不?管失败成功，统统记录下来。” 盛明安语速打机关枪似的，斩钉截铁、不?容置喙，仿佛难度高到爆表的光源系统在他眼里层次分明、井然有?序，所有?的技术难点都可以被轻松解决。 他胸有?成竹，心有?沟壑。 他不?必开口安慰，只要用平淡轻松的口气下达每一道指令就能安定实验室每个?人退怯、不?自信的心。 “杜颂，打开你的modelica先进?行?初步的超精密激光器建模仿真。” modelica是?一款可实现复杂的物理系统仿真建模的计算机语言软件，可用于光刻机某些超精密部件的仿真建模。 杜颂：“已在创建。” 他领着自己小组成员低头忙碌。 “雷客，你调整一下光路结构。” “好。”雷客示意助手打开opc（光学邻近矫正）软件，通过模型动态仿真结果?计算查找表修正光与图案。 盛明安匍匐在桌案，设计市场需求的激光光源，就目前的技术发展而言，光刻机激光光源仍以激光等离子体为主。 驱动光源产生的碎屑数量，光谱纯度，每提高一个?技术节点消耗的功率和产能……其实日前最先进?的euv，其功率消耗大、产能低，再过五六年也未能完美解决这两个?问题。 可盛明安不?清楚。 他虽不?愿用前世记忆盗窃他人成果?提前制造出国产光刻机，可前世是?他完美解决euv产能低的问题，因?此习惯性顺手将这难题归入待解决列表之一。 以至于后来一举攻破该技术节点实现反超asml目标，实属意料之外。 *** 15年5月份左右，国际半导体发生了?一件大事。 asml官网对外发布突破光刻机量产瓶颈，正式对外售出可量产14nm极紫外光刻机！ 此举瞬间激起千层浪，全球各界媒体报道不?休，半导体发烧友热闹得跟过年一样纷纷发表讨论。国内贴吧、技术论坛和逼乎新帖不?断，基本都是?讨论asml这一举措将带来怎么?的影响。 【光刻巨人：asml真正的崛起！】 国内科技网对asml的新闻标题被搬到国内电子发烧友论坛，论坛主搬来这标题就已经表明了?他对未来全球半导体地位的划分认可。 【如标题所说，从今以后，asml是?唯一的光刻巨人！】 【佳能、尼康的时?代?消失了?，光刻机百花齐放共竞争的时?代?一去不?复返，将来只有?asml一骑绝尘的身影！】 【虽然不?想承认，但欧美又在一个?重要的领域里实现了?科技霸权！】 【诸位，配合英特尔、高通今年年初发布的将于15年实现14nm核心处理器、年末实现10nm核心处理器的新闻发布会食用，而国产光刻机还停留在365nm光波长的第三?代?光刻机技术节点！】 【拉开了?两代?，落后二十年。】 【华国被死死扼住半导体产业的喉咙……】 【感到窒息。】 另一个?贴没有?这么?丧气，但基本是?在吹asml，回顾asml的历程，曾经也不?过是?个?半生不?死的小公司…… 【谁还能记得曾经的asml濒临倒闭？】 【那时?候的尼康和佳能才是?霸权半导体领域的大佬，可惜封杀了?台积电林大佬的浸润技术emmmm结果?最后被asml捡漏。】 【asml的崛起之路从这一步开始[滑稽]。】 【命运真是?奇妙，谁能料到最后会是?名不?见经传的阿斯麦尔抢先一步研发出第五代?光刻机？】 【小声插一句，我国有?机会研发14nm光刻机吗？】 【？？asml肯卖给我们一台euv就偷笑?了?，还自主研发？做梦呢！】 【肯定告诉你：有?！二十年后！】 【不?过那个?时?候的半导体可能已经发生翻天覆地的变化，摩尔定律失效，现有?的光刻机技术臻至极限不?再寸进?，或许出现了?新的机器替代?光刻机，量子定律取代?摩尔定律……我们再次被甩开二十年。】 【也不?必这么?悲观，或许二十年后，华国光刻机技术实现超英赶美。】 【摩尔定律没那么?轻易被取代?，你以为重新诞生一个?定律很容易？】 【盛神不?是?解决了?量子纠错的难题吗？很多人深受鼓舞，投入量子课题研究。只要某个?领域天才成群结队而来，天大的难题被解决也只是?时?间的问题。】 …… 【怎么?跑题了?？】 【说回正题，祈祷美帝不?会一个?看?我们不?爽就对我们实行?芯片制裁吧。】 【什么?意思？】 【asml控股大头是?美帝公司！】 蓝河科技。 林成建步伐匆匆进?入研发部的休息室，室内盛明安和陈惊璆都在，还有?雷客、杜颂等人，他们一边吃中午饭一边继续商讨研究项目。 “看?到最新消息没有?？” 盛明安：“asml euv发布会。” “对！”林成建坐下来擦汗，接过雷客倒来的水说：“现在全球订单飞向asml，一台售价1.2亿美金，订单排到了?18年。” 光刻机工艺复杂，就算是?asml一年也只能造出十几?台。 “华芯的人也去下订单。” 杜颂急问：“怎么?样？” 盛明安不?用问也知道结果?，陈惊璆则安静的挑出碗里的辣子鸡块规整放到一旁的饭盒盖上，然后推给盛明安。 陈惊璆：“我不?吃辣。” 盛明安抬眼，扫了?眼他那碗几?乎没动过的辣子鸡，相?信了?。 辣子味道又香又麻不?呛喉咙，鸡肉嫩滑多汁，吸收了?辣子的香味，吃起来很刺激舌尖。 盛明安很喜欢，他说：“谢谢。” 陈惊璆笑?看?着他。 对面一姑娘来回看?两人，心想盛神跟老板太基了?吧。 林成建：“被拒绝了?。” 杜颂：“艹！” 其他人心情激愤却也无可奈何，谁让他们的技术就是?落后人家十几?二十年？ 落后活该挨打呗。 欧美各国遵守的《瓦森纳协议》就是?专门针对禁止对华输入高阶精密科学仪器和技术，asml不?敢违背协议，自然拒绝对华销售euv。 没有?euv，他们还得从台积电，从英特尔、高通等美帝企业那儿购买芯片，巴巴送钱过去看?人脸色。 休息室众人情绪低沉，盛明安察觉不?到，自顾自吃饭，吃完了?就拿起手边的热水慢吞吞喝两口解腻，浑身通透的舒服。 第65章 星晓[12] 方案可行。 杜颂鼓起勇气?问盛明安：“盛神,我们多久能够研发出高阶光刻机？” 盛明安：“短则一两年，长则四五年。” 杜颂失望：“这么久？！” 盛明安疑惑：“asml花六年时间才验证euv方案可行，之后耗费十来?年时间才研发出可量产的高阶光刻机。我们刚起步,难道?两三年还不够快？” “呃……”杜颂挠头,不好意思的笑笑：“我太心急了?。” 下一刻,他变了?脸色，着急询问：“那我们两三年内能研发出国产14nm光刻机吗？” 盛明安环顾在场众人，这才发现?他们难掩焦虑和颓靡,结合他们刚才的讨论?，猜出杜颂心急的原因，沉吟片刻便说道?：“华国2002年就把攻克光刻机列入863计划，08年又启动了?02专项计划，我们起步慢，但也有了?十几年的沉淀和铺垫。” 他说到此?处停下，一一看向在场的每个人：“相信每一个生?在这个国家的科学家,他们仍然在努力，日?复一日?攻克光刻机的‘八十一道?’难关。相信你们自己，你们手中的光源系统项目虽然目前看不到成?效,但你们每解决的一个小问题、一个数据，都在朝高阶国产光刻机的方向前进。” 物理科研本来?就是量变引起质变的一门学科,前人积年累月的研究,推动人类社会一步又一步靠近真理大门,最终汇聚成?一场掀动科技革命的飓风。 “总有一天,你们现?在所做出的努力都会得到满意的回报。” 其他人有些动容，坐盛明安前面的助理姑娘小声说：“其实我们这几个月来?的努力不是没成?果，至少光路结构里各种镜头组件调整是越来?越熟练，也越来?越精准。” 姑娘被分配到雷客小组,负责光刻机镜头组件光路调整。 她开了?口，大家纷纷开口，也都说自己小组负责的项目成?果，虽然没有实现?奇迹般的大跨越，但是都有在进步。 每个项目研发过程遇到的成?千上百个小问题都被他们一一解决，这么说来?，他们也不是完全没有收获。 这么想着，众人低迷的情?绪逐渐高涨，互相加油打气?。 “盛神说得对！人家asml花了?多少时间、人力和财力才造出一台euv，我们这才哪到哪啊！” “我们造不出euv，日?韩德英美也造不出来?！” “但他们买得到。” “谁跟我这儿?涨敌人威风灭自己人士气?的？给我掌嘴。” 说丧气?话的同事很快被身边人按压在桌，众人笑闹了?一阵，打起精神回实验室继续研发，至于?午休时间就算了?。