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嗯,这图纸画的太简单了,看不出来什么,小兴赶紧给我们介绍一下。rdquo;方教授看了一眼图纸,眼睛一亮,连忙催促周兴道: 对,对,采用的是绕轴线摆动式喷淋系统吗?这边为什么没设置可调节喷孔?rdquo;胡教授扫了一眼图纸,迫不及待地问: 嗯,我讲一下我的设计思路。rdquo;周兴冲在场的教授点了下头,就这设计图开始详细介绍起来:这台蚀刻机分成几个子系统,从支架往上,这边是下部等离子电极箱体hellip;hellip;这里是入料口,经过传动装置,有复数条上传送轴和复数条下传送轴hellip;hellip;通过监控模块快速获取标定数据hellip;hellip;rdquo; 此时,几位老教授就像课堂上的好学生,紧紧围在周兴身边,聚精会神地听着他讲解。 被挤出圈子的郭大志,金晓美,徐威,三人面面相窥了一下,苦笑不已。 达者为师,教授他们都开始认真学习了,他们那有摆身份的资格,下一秒,三人取来日记本和笔,一起加入听讲的圈子里。 很快,整个实验室只剩下周兴讲解的声音,以及钢笔写在日记本上的一片沙沙rdquo;声。 经周小智协助设计的蚀刻机rdquo;性能卓越,几乎毫无缺点,随着周兴的讲解,教授们眼睛越来越亮。 硬件设计大概就这样了,配备的软件系统我一周后交给大家测试。rdquo;周兴介绍完蚀刻机的硬件设计信息,最后总结道: 呼rdquo;的一声,教授们齐齐吐了一口深鳖的浊气,一张张老脸齐齐绽放出一个喜悦的笑容。 方教授喜不自胜地说:小兴,你这个设计图可以,所使用的零件,材料,生产工艺,都极大契合量产工艺。rdquo; 是啊!设计新颖,构造模块简洁又密集,如果能配备上一个好性能的辅助系统,这台蚀刻机的性能预计比我们设计的那台强50%以上。rdquo;徐教授连连点头,赞同不已: 好,好,小兴你又立大功了啊!上次奖励还没发,这次郑主任又要大出血了。rdquo;胡教授看着周兴,老脸笑开了花连连叫好: 老胡这你就不知道了,小兴这小子奸诈如狐,早就打好了算盘,老郑要是听到这个消息,估计会很郁闷呢!rdquo;严教授看着胡教授开怀大笑道: 嗯?难道老郑已经答应了小兴的要求?rdquo;胡教授愣了一下: 那是肯定的,以这小子不见兔子不撒鹰的性子,不答应,他能把这个新思路说出来?rdquo;严教授板着脸不高兴地看着周兴,吹胡子瞪眼地说: 严老,瞧您这话说的,总不能一直指望让马跑,却不给喂草吧!rdquo;周兴冲严教授翻了个白眼: 呵,你这lsquo;草rsquo;可真够贵的,这个专利值不少钱呢。rdquo;严教授瞪着周兴,不高兴地说: 呵呵,严老,那您觉得我这匹lsquo;马rsquo;值不值这个价呢?rdquo;周兴微微一笑,反问: 不值吗?那肯定说不过去,顶尖人才是无价,在重大项目突破能力上,周兴一个人比十个大型科研团队更具有价值。 让他承认值rdquo;,岂不是等于投降认输? 严教授张了张嘴,哑口无言,求助的目光看向方教授他们。 方教授他们纷纷移开目光,或看图纸,或打量实验台,一张张老脸憋着坏笑,对严教授求助的目光视而不见。 哈哈!没事招惹周兴干嘛!被怼傻了吧! 尴尬的气氛持续了一会儿,方教授救场追问周兴,道:小兴,5纳米级的蚀刻机成功在望,那对光刻机你有研究过吗?rdquo; 方教授此话一出,实验室为之一静,在场所有人目光紧紧盯着周兴,眼中闪烁着期待的光芒。 闻言,周兴一阵默然。 既然研究了蚀刻机,他又怎么会放弃研究光刻机呢。 等离子刻蚀机技术中国不算落后,但想制作芯片还需要光刻机的配合,中国是因为光刻机制程落后所以半导体制造才落后,如果光刻机也有所突破,那么芯片领域实现突围是早晚的事了。 有研究,不过!rdquo;周兴迎着众人的目光点了下头: 不过什么? 众人精神一提,目光死死盯着周兴的脸,期待下文。 第七十五章 蚀刻机研制 光刻机又名:掩模对准曝光机,常用的光刻机是掩膜对准光刻,是制造大规模集成电路的核心装备,每颗芯片诞生之初,都要经过光刻技术锻造,简单地说,光刻机就是把工程师的设计刻印rdquo;在基底材料硅片上,在2mdash;3平方厘米的方寸之地集成数十亿晶体管。 光刻机刻印rdquo;处理过的硅片再经过蚀刻机加工,通过化学反应,物理撞击作用移除废弃硅片rdquo;上的废弃部分,再经历某些封装工艺,神奇硅片材料变废为宝,变成价值高昂的电子芯片。 因为周兴的关系5纳米级蚀刻极量产可期,光刻机成为众人心中的重中之重,如果光刻机再有所突破,那么芯片领域会和高铁领域一样,突破西方国家封堵完成弯道超车。 不过什么?有话快说,别卖关子。rdquo;严教授瞪着周兴,催促地问: 光刻机我是有研究过,不过,暂时没别的想法。rdquo;周兴看了严教授一眼,淡淡地说: